- реактивное ионно-лучевое травление
- reaktives Ionenstrahlätzen
Russisch-deutsch wörterbuch polytechnischen. 2013.
реактивное ионно-лучевое травление
Schlagen Sie auch in anderen Wörterbüchern nach:
ионно-лучевое травление — Ion Beam Etching Ионно лучевое травление (ИЛТ) Процесс удаления вещества с поверхности твердого тела, осуществляемый его бомбардировкой пучками ионов инертных газов. Реактивное ИЛТ (РИЛТ) удаление материала за счет химического взаимодействия… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
Травление в литографии — (англ. etching (development) in lithography) этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении негативного фоторезиста с необлученных участков или позитивного фоторезиста с облученных участков подложки, покрытой тонкой… … Википедия
травление в литографии — Термин травление в литографии Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, фоторезист Определение этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
ion beam etching — Ion Beam Etching Ионно лучевое травление (ИЛТ) Процесс удаления вещества с поверхности твердого тела, осуществляемый его бомбардировкой пучками ионов инертных газов. Реактивное ИЛТ (РИЛТ) удаление материала за счет химического взаимодействия… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
